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Clean Room | 2010.06.08 17:57

 

(주)미호이엔씨

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미호이엔씨-크린룸의 관리
HEPA FILTER 규격
 
항 목 내 용
성능분류 A형  종합효율이 0.3㎛로 99.97%이상
B형  정격 풍량 및 20% 풍량시 0.3㎛으로 99.97%이상(Pinhole검사)
C형  표면 전체에 대해 스캐닝 테스트를 한다.
D형  리크 테스트(Leak Test)후 효율이0.3㎛로 99.99%이상(HEPA,ULPA필터)
E형  MIL규격 합격품(유독물질,발암물질,방사선 동위원소,유해균,화학물질
 등에 사용되는 특수품)
소재에 의한 분류  1급 내화품
 2급 준 내화품
강 도  차압 10Inch 불기둥에 15분 견딜것
보 수  Spot 보수는 1군데당 13㎠이하로 하고 표면의 1%이하로 한다
진 동  Pleats방향에 진폭 19.1mm의 진동을 200Cycles/min으로 15분 주어
 이상이 없을것
표 시  규격, 형(A~E), 소재(1~2), 풍량,형식,투과율,압력저항,제조번호
 기류방향
보 존  Separator 수직방향으로 보존하고, 2m이상 쌓아 올려서는 안된다
 
CLEAN ROOM의 각실간의 필요 압력차
 
ROOM
압력차(mmAq)
     청정도 Class가 다른 Clean Room
0.5
     Clean Room과 Clean복도.갱의실
0.5 ~ 1.0
     Clean .갱의실 등과 일반실
1.0
     Clean Room과 일반실
1.5
 
CLEAN ROOM의 CLASS별 표준적 순환풍량
 
청정도
환기회수(회/h)
Class 100
200 ~ 600
1,000
50 ~ 70
10,000
30 ~ 40
100,000
20 ~ 30
 
CLEAN ROOM의 입실순서
 
  실외의 MAT에 신발을 털어낸다.
  관리구역에 들어서 신발을 벗고 1차 갱의를 한 후 신발을 신발장에 넣는다.
  일반복용 LOCKER에서 탈의를 한 후 수세를 한다.
  2차 갱의(Clean Room)를 한 후 CLEAN ROOM용 신발 및 의복을 착용한다.
  마스크와 모자를 쓴후 수세 및 DRYER를 한다.
  AIR SHOWER를 한 후 CLEAN ROOM용 장갑을 착용한다.
  CLEAN ROOM내로 입실한다.
 
크린룸 입퇴실 FLOW MODEL
 

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